TTS-3000 EFEM

關鍵字導讀: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:一體化程度高,自動化程度高,安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制……

簡介

新松一直致力于提供半導體晶圓加工和其他復雜的制造環境所需的高性能、超潔凈和久經考驗的可靠性。公司成功研發了真空傳輸平臺,該平臺是集成大氣機器人,預對準機等部件的綜合性產品,可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產品具有很強的適應性,以滿足特定的應用需求。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。滿足半導體制造商的期望和要求。

參數

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